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    佳能发售KrF半导体光刻机“FPA-6400ES6a”

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    dcdv.zol.com.cn true https://dcdv.zol.com.cn/1271/12715702.html report 3014 2026年11月10日,佳能在东京宣布,将于2026年12月上旬发售面向存储和逻辑芯片的KrF*1扫描式半导体光刻机“FPA-6400ES6a”。佳能半导体光刻机新产品——KrF扫描式半导体光刻机“FPA-6400ES6a”近年来,在生成式人工智能(AI)普及的背景下,尖端半导体的需求不断扩大,市...
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