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    三星引入干式光刻胶技术推动DRAM工艺升级

      [  中关村在线 原创  ]   作者:林有三
    dcdv.zol.com.cn true https://dcdv.zol.com.cn/995/9953136.html report 716 据韩国媒体报道,当地时间6月10日,三星电子宣布在DRAM内存制造领域率先引入干式光刻胶(Dry PR)技术,并计划将其应用于即将正式推出的第六代10纳米级工艺(1c nm)。据了解,三星已经完成了用于干式光刻胶涂覆与显影的多台设备的安装和调试工作,这些设备由泛林公司提...
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